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濕式靜電除塵器的催化燃燒幾乎可以處理所有的烴類有機廢氣和惡臭氣體，以及廣泛用于處理的VOCs。對于低濃度、高流量、多組分和不可回收的VOCs，催化燃燒更經濟。
效率高，二次污染物少，溫室氣體排放少。催化燃燒凈化Voc的效率一般在95%以上，分解氧化后的產物主要是CO2和H2O。由于催化劑的燃燒溫度較低，NOx的生成明顯減少[3-5]。輔助燃料消耗產生的CO2排放占CO2總排放的很大比例，降低了輔助能源消耗，顯著減少了溫室氣體的CO2排放。
與熱燃燒相比，催化燃燒具有著火溫度低、反應速度快的優點。參見催化劑燃燒性能與熱燃燒性能的比較。催化劑的燃燒具有較低的點火溫度，節省了輔助能源的消耗，在某些情況下不需要外部加熱。
立式靜電除塵器催化凈化廢氣過程中，廢氣通過管道由風機送至熱交換器，將廢氣加熱至催化燃燒所需的初始溫度。預熱的廢氣通過催化劑層燃燒。由于催化劑的作用，催化燃燒法廢氣燃燒的初始溫度約為250~300℃，遠低于直燃法650~800℃的燃燒溫度。高溫氣體再次進入熱交換器，經過熱交換冷卻后，通過風扇以較低的溫度排放到大氣中。
